 |
迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
12
联系电话
|
迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
联系电话
光刻材料（如光刻胶和显影液）的表面张力对光刻工艺本身具有重要影响。例如，旋涂均匀性、平面化和附着力直接取决于材料的表面张力。同样，涂层的表面自由能（SFE）也与此密切相关。
通过接触角测量，可以研究半导体技术中使用的基板和涂层的表面自由能（SFE）。测量接触角能够帮助您快速优化新工艺步骤，并更好地标准化现有工艺。晶圆表面性质的微小变化会表现为接触角的显著且易于检测的改变。投入少量时间测量接触角，可以通过避免后续生产问题获得回报。为了降低缺陷密度并实现光刻胶结构的微小特征尺寸（<1μm），良好的光刻胶附着力至关重要。借助接触角测量，您可以轻松控制附着力。
德国进口接触角测量仪SURFTENS HL 200 的特点
接触角测量系统 SURFTENS HL 200 专为半导体行业和研究设计，尤其适用于硅晶圆表面处理的工艺控制。它是研究晶圆接触角和润湿性的理想工具。SURFTENS HL 200 能够满足对硅晶圆润湿性快速、高精度且便捷的测量需求。
SURFTENS HL 200 的突出特性包括：
• 紧凑省空间、封闭式机械基础结构
• 高质量固定焦距测量物镜
• USB摄像头
• 所有组件集成于封闭外壳内，防止错位
• 可调均匀高亮LED照明
• 特氟龙涂层晶圆台（直径200mm）
• 晶圆台手动x轴和φ轴定位
• 支持真空镊子放置晶圆
• 晶圆台行程：100mm
• 晶圆台旋转角度：360°
此结构可测量晶圆表面任意点。晶圆台的手动x轴和φ轴配备刻度，便于定位到指定位置。
滴液系统调节功能：
• 手动z轴调节针头高度
• 手动y轴调节针头居中
• 手动x轴调节针头对焦
滴液系统配置选项：
• 1套手动直滴系统
• 2套手动直滴系统
• 1套软件控制自动直滴系统
• 2套软件控制自动直滴系统
• 1套手动+1套自动直滴系统组合
自动测量功能实现最高精度
通过手动或自动直滴系统生成测试液滴（通常为去离子水）。液滴图像以高清实时视频形式立即呈现在电脑屏幕上，单次按键即可启动测量。软件自动计算接触角，并同步显示图形化结果与数值数据。仅需1秒的快速测量可避免误差。德国进口接触角测量仪SURFTENS HL 200 将高重复性、测量精度与操作便捷性结合。
技术参数
滴液系统
最小液滴体积：0.2μl
滴液分辨率/精度：0.1μl（水）
注射器：玻璃或一次性鲁尔锁注射器
接触角测量精度
分辨率：0.01°
重复性：±0.1°（实时视频）
精度：±0.1°
软件
操作系统：Windows
