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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話(huà)
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話(huà)
概括
紅外燈交叉放置在工具板下方和蓋子中。尺寸為420x420mm的方形工具板可以用任何合適的材料制成，也可以在其中使用用于固定裝置的定制開(kāi)口。通過(guò)設(shè)計(jì)，可將模具板及其上的零件一起裝入腔室內(nèi)-適用于批量生產(chǎn)。通過(guò)從腔室底部吹向工具板的氮?dú)饬鬟M(jìn)行工藝?yán)鋮s。
技術(shù)指標(biāo)
工藝環(huán)境： | 氮?dú)?，惰性氣體，甲酸，合成氣 |
Z高溫度： | 450℃ |
加熱面積： | 420 x 420mm |
加熱板： | 可移動(dòng)：石墨，鋁等 |
加熱板上方的間隙： | 60mm |
加熱/冷卻斜坡： | 250℃/分鐘 |
控制偏差： | +/- 0.5℃ |
加熱元件： | 兩排交叉的16個(gè)紅外加熱燈 |
加熱控制： | 每個(gè)加熱燈均可獨(dú)立調(diào)節(jié) |
加熱板冷卻： | 氮?dú)饬髁?/span> |
溫度測(cè)量： | 多達(dá)4個(gè)熱電偶K型可自由定位 |
壓力測(cè)量： | 兩量程滿(mǎn)量程 |
Z大真空度： | 1x10-2 mbar（帶渦輪泵的5x10-6 mbar） |
甲酸起泡器： | 前面板40毫升容器，可自動(dòng)填充 |
箱體冷卻： | 水/乙二醇混合物 |
蓋觀(guān)察口： | 80mm，帶百葉窗 |
顯示： | 7英寸液晶觸摸屏 |
電腦軟件： | 工藝記錄，配方傳輸?shù)?/span> |
用戶(hù)界面： | 繼電器I/O的遠(yuǎn)程控制 |
外型尺寸： | 見(jiàn)布局 |
重量: | 280公斤 |
電源供應(yīng): | 三相，特定國(guó)家 |
