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迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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光刻机分为半自动和全自动两大系列。MEMA-800是研发中心和大学中的微机开发。操纵器，压力传感器，加速度传感器，功率设备等。倒装芯片/BGA/CSP的暴露。暴露于光学/高速通信组件中。
二、技术参数：
1、目标分离：15?75毫米；
2、总放大倍率：100倍；
3、观察照明器：红色LED（λ= 633 nm）；
4、X，Y平台移动范围：±5毫米；
5、θ调整：±5°
6、主体电源和水银灯：交流100V 50 / 60Hz 15A
7、真空源：低于21.3 Kpa（大气压为-80 Kpa）
8、镜片：积分镜
9、汞灯：250W超高压蒸汽汞灯
10、有效接触面积：大φ100毫米
11、强度分布：±5％以下
12、照度：20 mW / cm 2 （405纳米）
13、曝光时间控制：数字计时器和旋转螺线管
14、汞灯照明装置：交流110V
三、产品特点：
经济，紧凑和高级性能
在视场中查看两个对准标记的融合图像。
用于曝光的积分镜。
LED照明器
