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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話(huà)
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話(huà)
確保厚度控制的經(jīng)濟(jì)方法
如果不是不可能的話(huà)，在沉積期間精確地手動(dòng)控制膜厚度是困難的。有時(shí)使用帶有一滴油的白色瓷磚來(lái)粗略估計(jì)碳的涂層厚度，但是當(dāng)需要重復(fù)的，可再現(xiàn)的涂層時(shí)不能使用。使用儀器設(shè)置也不是一種準(zhǔn)確的方法，因?yàn)檎婵账剑ㄓ糜跒R射）和時(shí)間（用于蒸發(fā)）是非常關(guān)鍵的參數(shù)。高分辨率厚度監(jiān)視器提供涂層厚度的可重復(fù)性，消除猜測(cè)并且方便。使用加工因子可以精確測(cè)量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度監(jiān)測(cè)儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統(tǒng)。
系統(tǒng)包括：
MTM-10控制器盒
BNC電纜/ BNC彎頭
振蕩器盒
CS-108真空饋通，帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈
水晶支架電纜7“/ 108mm
水晶支架，M4螺釘尺寸ø19x20mm高。水晶面積ø6mm
MTM-20高分辨率厚度控制器專(zhuān)為Cressington濺射涂布機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，與108auto，108auto / SE和208HR濺射涂布機(jī)系統(tǒng)*兼容。
| MTM-10高分辨率厚度監(jiān)視器和 MTM-20高分辨率厚度監(jiān)視器規(guī)格 | |
| 一般規(guī)格： | 基于微處理器的4位數(shù)顯示，按鈕為零 6MHz晶振，帶有壽命檢查 每秒5次更新率 |
| 厚度范圍： | 0 999.9nm（POS / NEG） |
| 解析度： | 0.1nm用于金或碳 |
| 密度范圍： | 30.00g / CC 0.50 |
| 工具系數(shù)范圍： | 0.25 - 8.0 |
| 真空饋通： | CS 108；直徑10mm，板材/法蘭厚度為9mm。 |
| 水晶架： | 不銹鋼ø19x20mm。M4螺紋孔，用于安裝，1/2“尺寸的晶體 |
| 水晶架電纜： | Mini-SMB，母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置 |
| 處理器功能： | 對(duì)于MTM-10和MTM20，四組值可以存儲(chǔ)在密度下的存儲(chǔ)器中，四組可以存儲(chǔ)在工具下 |
| MTM-20控制器： | *MTM-20：可編程厚度端接功能，帶終端接口電纜，108自動(dòng)，208HR和DC-100 終端設(shè)備范圍為0-999.9nm |
| MTM-10/20盒尺寸 | 210 x 160 x 77毫米（8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸） |
