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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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A4P四點探頭采用100mm，150mm，200mm或300mm系統(tǒng)，無需維護且易于使用。該系統(tǒng)有多種選擇，包括寬范圍熱測試，非標準材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應(yīng)用的4點探針。
電阻率測量自動化軟件
A4P-200-PLUS自動化軟件允許使用電阻率測繪系統(tǒng)進行半自動或全自動測試。該接口設(shè)計簡單但功能強大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動測試程序。基于LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu)，可輕松集成客戶自己的測試和測量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。
A4P四點探頭功能
系統(tǒng)提供快速，準確的測量并且非常用戶友好。
直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項以及結(jié)果的二維和三維映射。
可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu)。
寬電阻率測量和薄層電阻范圍。
溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。
可選擇1種，5種，9種，25種，49種或121種測量模式以及自定義電阻率測量模式。
可調(diào)式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。
ASTM，SEMI或簡單輸出的快速測量模式。
點擊或點擊或直接坐標輸入晶圓導航。
與Jandel探頭兼容。
該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴展溫度測試的電阻率測試。
自動化軟件功能
在大多數(shù)情況下，所有自動化，測量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運行的軟件包進行管理。
不需要昂貴的硬件。
軟件允許用戶生成測量圖案圖。
軟件允許用戶生成結(jié)果的2D和3D地圖。
軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。
軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。
軟件內(nèi)置了熱卡盤的*控制，允許復雜且高度可定制的測試序列。
該軟件是開源的，客戶可以對其進行定制以滿足任何特定需求。
MicroXact團隊與客戶一起努力，盡快開發(fā)出的自動化解決方案。
A4P 4點探頭規(guī)格
A4P-200-TC
以下規(guī)格適用于標準配置。在大多數(shù)情況下，每個A4P 4點探針系統(tǒng)都可以定制，以超過這些值。
晶圓尺寸 高達300mm
真空吸盤 多區(qū)真空
兼容的探頭 Jandel探頭
饋通終端 BNC，Triax或香蕉插頭
自動化軟件 基于LabView，與Windows兼容
