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迈可诺技术有限公司
主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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系统的技术描述
Heron 80是一款大尺寸独立等离子系统，专为表面清洁，改装和激活而设计。 它可以在不同的材料上运行，如金属，塑料，陶瓷，纸张等。 下面描述的特性使Heron 80成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。
主机由不锈钢制成，带有可拆卸的后面板和侧面板，便于维护或故障排除。 外部装饰是“轻刷”。它也可以安装在带有“穿墙”配置的洁净室中。
Heron 80的控制系统基于配备触摸屏HMI操作面板的*PLC。 由于用户友好的图形界面，可以直接操作系统组件或让PLC根据用户可编辑的配方执行过程。 PLC具有快速扫描时间，可连续测量所有系统参数，以确保均匀可靠的过程。 无法避免的手动处理是装载/卸载样品的步骤。
Heron 80是等离子体反应器[1]电容耦合并且包括圆柱形处理室，其内部具有几个同心笼电极。
他的处理室由铝制成。 由于表面上形成了天然的氧化铝，铝可以在许多工艺气体（包括氟化蚀刻气体）的存在下使用，这一特性使这些反应器适用于大多数反应等离子体环境（即蚀刻，灰化...）。 没有焊接可确保更好的密封，从而防止过程中的外部污染
产品特点
?成本低
?触摸屏显示提供实时的所有主要信息，出色的过程控制和快速分析
?能够处理多达十种不同的可编辑配方
?*结果的*性
?数据记录功能，频率<0.5 Hz，用于过程的历史条件
?出色的过程控制和长期可靠性和稳定性
?使用的主要品牌组件，如真空计和质量流量控制器（MKS仪器）
?射频功率可在1W至600W范围内调节
技术规格
尺寸 宽 x 长 x 高 700 x 600 x 1750 mm
净重 130 Kg （不含真空泵）
净空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm
