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邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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13681069478

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公司信息

聯(lián)系人：
鄧經(jīng)理
電話：
4008800298
手機(jī)：
13681069478
傳真：
地址：
洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
郵編：
個性化：
www.mycro.net.cn
網(wǎng)址：
www.mycro.cn
商鋪：
http://www.cylcaiwu.com/st119375/
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WCS-200晶圓清洗機(jī)
晶圓清洗機(jī)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 WCS-200
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 武漢市

更新時間：2025-07-02 09:23:12瀏覽次數(shù)：1691

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池
WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。
【詳細(xì)說明】

特點：

· 高壓或霧化噴霧清洗

· 擁有觸摸屏界面

· 可重復(fù)過程的快速啟動按鈕

· 自動透明蓋

· CDA 和 N2 輸入傳感器

 

WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

晶圓清洗工藝通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以通過4個步驟對多達(dá)50個程序段進(jìn)行編程：

· 沖洗

· 吹掃

· N2干燥

· 旋轉(zhuǎn)

每個步驟可設(shè)置不同的速度和時間參數(shù)。


技術(shù)參數(shù)：

晶圓最大尺寸

8"/12"mm

晶圓清洗參數(shù)：

· 速度;

· 加速度；

· 清洗時間；

· 沖洗時間；

· N2干燥時間；


轉(zhuǎn)速范圍

500-3000 rpm

電源電壓

230VAC 50Hz 5A

CDA供給壓力

0.5-0.6 MPa

CDA 最大消耗量

3 m3/h

CDA 連接管

6 mm

去離子水 供給壓力

0.2-0.3 MPa

去離子水最大消耗量

100 L/h

去離子水連接管

6 mm

真空供應(yīng)

0.02-0.04 MPa

真空連接管

6 mm

排氣連接管

50 mm

尺寸

900x780x1280 mm

重量

110 kg

 


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