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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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公司信息

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鄧經(jīng)理
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4008800298
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洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
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www.mycro.cn
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FR-portable便攜式光學(xué)膜厚儀
便攜式光學(xué)膜厚儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) FR-portable
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間:2024-05-16 21:20:30瀏覽次數(shù):5806

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

【簡(jiǎn)單介紹】
產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,汽車(chē)及零部件
品牌:希臘ThetaMetrisis
名詞:膜厚儀 膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x
干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量,從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。
【詳細(xì)說(shuō)明】

 

便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過(guò)內(nèi)嵌式微處理器控制,使用壽命超過(guò)20000小時(shí)。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素, 16位級(jí) A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類(lèi)型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測(cè)量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射探針臺(tái)和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等;

手動(dòng)調(diào)節(jié)可測(cè)量高度可達(dá)50mm;

可針對(duì)更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε) 反射率測(cè)量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

F) 附件

FR-portable透射率測(cè)量套件;

Thickness measurement range

12nm – 90μm

Refractive Index calculation

P

Thickness measurement Accuracy

0.2% or 1nm

Thickness measurement Precision

0.04nm or 1‰ (0.01nm)

Thickness measurement stability

0.02nm

Sample size

1mm to 200mm and up

Spectral Range

400nm – 1100nm

Working distance

3mm-20mm

Spot size

0.35mm (diameter of the reflectance area)

Light Source Lifetime

20000h

Wavelength resolution

0.8nm

Number of Layers Measured

Max. 5 layers

Measurement time (max acquisition speed)

10ms/point

A/D converter

16 bit

Power

USB – supplied

Dimensions

300mm x 110mm x 40mm



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