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日本新宇宙 半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D型
半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D型
特點： 檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 檢測原理 型半導(dǎo)體式 采樣方式 自動吸引式 可檢測濃度 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)
于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規(guī)格
型 號 XP-703D
（單位：ppm）
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0