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洁净室多级碰撞采样器该多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片，铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。
多级生物气溶胶采样器6级生物气溶胶采样器包括：6个带孔的铝制层、硅树酯O型垫圈、真空泵、携带工具箱，该采样器每一级的工作流量都是28.3 L/min。
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