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S61系列控制蝶閥-VAT控制閥門

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INFICON膜厚控制系統(tǒng): 膜厚監(jiān)測儀膜厚控制儀石英晶振片

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LEYBOLD真空儀器及耗材: 工業(yè)級檢漏儀真空泵油顯示控制儀萊寶真空計(jì)

BUSCH真空設(shè)備: 廢氣處理系統(tǒng)

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Vogtlin流量控制器: 質(zhì)量流量計(jì) 可變面積流量計(jì)

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ALICAT質(zhì)量流量控制儀器: 多功能質(zhì)量流量計(jì)和控制器

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真空配件: 超高真空 CF 元件

阿爾卡特: 顯示控制器

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水汽冷凝捕集系統(tǒng): TVP3500

過濾器: 金屬過濾器微粒過濾器水冷分離器

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該閥門主要應(yīng)用于壓強(qiáng)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體，平板顯示，太陽能，鍍膜，科研等行業(yè)。

S61系列控制蝶閥

該閥門主要應(yīng)用于壓強(qiáng)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體，平板顯示，太陽能，鍍膜，科研等行業(yè)。

漏率： 10-9mbar.l/s
材質(zhì)：不銹鋼，鋁
控制原理：PID控制器控制步進(jìn)電機(jī)完成閥門開度調(diào)節(jié)
法蘭接口： ISO-KF, ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS
接口尺寸：I.D. 25 to 250 mm (1" to 10")



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