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當前位置：> 供求商機> INFICON UL1000氦檢漏儀
UL1000符合微電子 工業(yè)生產(chǎn) 的要求。從堅固的金屬外殼 到方便移動 的 滾輪 ，至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則，都無不顯示了其的*性。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件，新的固件可通過標準接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
應(yīng)用： | ||||||||||||||||||||
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技術(shù)參數(shù) zui小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準） ＜5×10 -12 mbar.l/s zui小可檢漏率（吸槍模式） ＜3×10 -8 mbar.l/s 入口壓強 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar 抽泵抽速 16-25立方米/小時 氦氣抽速（進氣口處） 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 可檢質(zhì)量數(shù) 2、3、4amu, 氫， 3 氦，氦 電源電壓 110－120V；220－240V 重量 110公斤；242磅 尺寸，包括手把（長×寬×高） 1068×525×850毫米 |
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