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INFICON PEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。在總線的選擇方面，除了對數(shù)的模擬輸出信號輸出外還有便于集成到真空系統(tǒng)的Profibus DP或DeviceNet協(xié)議輸出。

潘寧規(guī)/冷陰極規(guī)/冷電離規(guī)PEG100的優(yōu)點(diǎn)

■測量范圍廣：5 X 10 ^-9～1 X 10 ^-2 Mbar

■全金屬冷陰極陶瓷傳感器

■新型幾何電極提供了*的點(diǎn)火性能

■降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣

■陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易

■zui小磁場強(qiáng)度測量

■ LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火

■對數(shù)模擬輸出信號

■ Fieldbus總線接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信

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