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INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的的Pirani技術(shù). 溫度補(bǔ)償提供快速與Z穩(wěn)定的真空測(cè)量并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題. 堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中.

皮拉尼真空計(jì)PSG500的特點(diǎn)

■占空間小

■任何方位安裝

■不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件

■*化的溫度補(bǔ)償

■易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出

■至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件

■烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 °C

■易于更換的傳感單元

皮拉尼真空計(jì)PSG500的應(yīng)用

■控制高真空電離真空計(jì)

■前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)

■真空系統(tǒng)中的安全電路

■在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

燈絲

PSG500

鎢絲

PSG500-S

鎢絲

PSG502-S

鎳絲

測(cè)量原理                                  熱導(dǎo)（Pirani）

測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?/span>          毫巴                           5 x 10^-4至 1000

精度（氮?dú)?/span>）     1 x 10^-3… 100毫巴          %讀值                                ±15%

       5 x 10^-4… 1 x 10^-3毫巴       %讀值                                ±50%

       100 ... 1000毫巴            %讀值                                ±50%

分辨率                                    %讀值                                1%

再現(xiàn)率（空氣）    1 x 10^-3… 100毫巴         %讀值                                 2%

安裝方位                                   任意

設(shè)點(diǎn)                                無

范圍                               毫巴

    滯后                              %讀值

     繼電器觸點(diǎn)                        伏DC/安DC

開關(guān)時(shí)間                            毫秒

                 2

            2 x 10^-3… 500

             10%低閾值

            30 / 0.5 阻性

                20

溫度

工作（環(huán)境）

°C

+5 to +60

貯存

°C

-20 to +65

法蘭處烘烤^1）

°C

80 / 250^2）

保護(hù)類型

IP40

電壓

V DC

14 to 30

紋波

Vpp

≤1

電流損耗, zui大.

mA

500 （zui大.起始電流）

功率損耗

W

≤1

輸出訊號(hào), 模擬

V

0 … 10.3

測(cè)量范圍

V

1.9 … 10.0

公式

mbar

U = 6.143 + 1.286 x log10 p

誤差訊號(hào)

V

0 … 0.5 （燈絲斷）

輸出阻抗

?

2 x 4.7

zui小負(fù)載電阻

k?

10, 短路保護(hù)

反應(yīng)時(shí)間

ms

80

規(guī)管標(biāo)識(shí)

k?

27.0, 相關(guān)于電源公共點(diǎn)

設(shè)備連接件

FCC 68 / RJ45, 8 腳,插頭

規(guī)管電纜

8 芯電纜加屏蔽

暴露于真空中的材料

DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, NiFe, Ni

燈絲

     鎢                   鎢                  鎳

DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF

cm3

1.5

DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R, 長(zhǎng)管

cm3

10

1/8”NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2”管

cm3

2

zui大壓強(qiáng) （）

mbar

10, 限于惰性氣體

重量

DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF

g

80

DN 16 CF-R, 4 VCR

g

       100

1/8”NPT, 1/2”管

g

70

8 VCR, DN 16 ISO-KF長(zhǎng)管

g

130

DN 16 CF-R 長(zhǎng)管

g

140

1）水平安裝方位

2）延伸管用于在法蘭處烘烤250 °C

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提示

型號(hào) 燈絲		PSG500 鎢絲		PSG500-S 鎢絲		PSG502-S 鎳絲
測(cè)量原理熱導(dǎo)（Pirani）
測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?/span> 毫巴 5 x 10^-4至 1000
精度（氮?dú)?/span>） 1 x 10^-3… 100毫巴 %讀值 ±15% 5 x 10^-4… 1 x 10^-3毫巴 %讀值 ±50% 100 ... 1000毫巴 %讀值 ±50%
分辨率 %讀值 1%
再現(xiàn)率（空氣） 1 x 10^-3… 100毫巴 %讀值 2%
安裝方位任意
設(shè)點(diǎn) 無范圍毫巴滯后 %讀值繼電器觸點(diǎn) 伏DC/安DC 開關(guān)時(shí)間毫秒					2 2 x 10^-3… 500 10%低閾值 30 / 0.5 阻性 20
溫度
工作（環(huán)境）	°C		+5 to +60
貯存	°C		-20 to +65
法蘭處烘烤^1）	°C		80 / 250^2）
保護(hù)類型			IP40
電壓	V DC		14 to 30
紋波	Vpp		≤1
電流損耗, zui大.	mA		500 （zui大.起始電流）
功率損耗	W		≤1
輸出訊號(hào), 模擬	V		0 … 10.3
測(cè)量范圍	V		1.9 … 10.0
公式	mbar		U = 6.143 + 1.286 x log10 p
誤差訊號(hào)	V		0 … 0.5 （燈絲斷）
輸出阻抗	?		2 x 4.7
zui小負(fù)載電阻	k?		10, 短路保護(hù)
反應(yīng)時(shí)間	ms		80
規(guī)管標(biāo)識(shí)	k?		27.0, 相關(guān)于電源公共點(diǎn)
設(shè)備連接件			FCC 68 / RJ45, 8 腳,插頭
規(guī)管電纜			8 芯電纜加屏蔽
暴露于真空中的材料			DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, NiFe, Ni
燈絲			鎢鎢鎳
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF	cm3		1.5
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R, 長(zhǎng)管	cm3		10
1/8”NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2”管	cm3		2
zui大壓強(qiáng) （）	mbar		10, 限于惰性氣體
重量
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF	g		80
DN 16 CF-R, 4 VCR	g		100
1/8”NPT, 1/2”管	g		70
8 VCR, DN 16 ISO-KF長(zhǎng)管	g		130
DN 16 CF-R 長(zhǎng)管	g		140
1）水平安裝方位 2）延伸管用于在法蘭處烘烤250 °C