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INFICON/英福康全功能型殘余氣體分析儀 Transpector CPM RGA
INFICON CPM RGA(殘余氣體分析儀）是一臺(tái)全功能、輕便、高性能氣體分析儀，理想地用于現(xiàn)場監(jiān)測復(fù)雜的過程. 其干式抽空系統(tǒng)采用INFICON Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)的驗(yàn)證技術(shù),并達(dá)到新的性能水平。

INFICON/英?？等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA

INFICON CPM RGA(殘余氣體分析儀）是一臺(tái)全功能、輕便、高性能氣體分析儀，理想地用于現(xiàn)場監(jiān)測復(fù)雜的過程. 其干式抽空系統(tǒng)采用INFICON Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)的驗(yàn)證技術(shù),并達(dá)到新的性能水平。

功能

應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD ，對(duì)殘余氣體進(jìn)行過程監(jiān)測和分析
測量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 提供支持，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以最小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配

用戶*性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場早期報(bào)警:

■ 測量氣相反應(yīng);

■ 驗(yàn)證真空的完整性;

■ 鑒別痕量污染物;

■ 測量過程與本底的組分;

■ 定性氣體純度。

Type	100 AMU CPM	200 AMU CPM	300 AMU CPM
分辨率	1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height
總壓力范圍1	5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr
總壓力精度2	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
最大離子源工作壓力3	1E-3 Torr	1E-3 Torr	1E-3 Torr
標(biāo)稱工作壓力?	2E-4 Torr	2E-4 Torr	2E-4 Torr
系統(tǒng)工作壓力	1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm
靈敏度（低發(fā)射）	> 4E-6 Amps/Torr	> 2E-6 Amps/Torr	> 1E-6 Amps/Torr
靈敏度（高發(fā)射）	> 2E-5 Amps/Torr	> 1E-5 Amps/Torr	> 5E-6 Amps/Torr
最小可檢測分壓?	1E-13 Torr	2E-13 Torr	4E-13 Torr
最大數(shù)據(jù)速率	1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)
豐度靈敏度?	< 5 ppm	< 10 ppm	< 100 ppm
零沖擊?	< 2 ppm	< 25 ppm	< 200 ppm
檢測限值?	< 1 ppm	< 2 ppm	< 4 ppm
線性度?	+/- 20%	+/- 20%	+/- 20%
最小背景壓力	1E-8 Torr	1E-8 Torr	1E-8 Torr
最大傳感器和進(jìn)氣溫°C度	150	150	150

INFICON/英?？等δ苄蜌堄鄽怏w分析儀 Transpector CPM RGA

1.使用總壓強(qiáng)鏡頭獲得的離子源壓強(qiáng)讀數(shù)@低發(fā)射

2.總壓強(qiáng)準(zhǔn)確度@低發(fā)射

3.離子源最大工作壓強(qiáng)@低發(fā)射

4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約1x10-5Torr的壓強(qiáng)

5.EM開啟且保壓時(shí)間為1秒時(shí)離子源處的MDPP

6.質(zhì)量數(shù)40對(duì)41 AMU的貢獻(xiàn)

7.零沖擊對(duì)2 AMU的貢獻(xiàn)

8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時(shí)間

9.適用于1 Torr孔板或更低設(shè)置。0.1至2倍標(biāo)稱孔板壓強(qiáng)條件下的線性@低發(fā)射

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