2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器，它还可以用作压力控制器。
2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器，它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10-9 scc/sec（He）。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1％和读数的1％。2179具有很小的功耗：在常规直流±15V供电工作时，单元电流仅有100mA（在zui初开机阶段为200mA）。
例：型号2179A00411CR16VXX 采购序列号
校准气体（SEMI气体编号）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校准流量SCCM－zui大20000 （相当氮气）
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
装配件
标配：（兼容）SwagelokR 4VCRR 凸接头 R
选配：（兼容）SwagelokR 4VCOR 凸接头 G
选配：（兼容）SwagelokR 0.25英寸管道 S
长度适配器 w/ 4 VCR 配件** L
长度适配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
阀门
常闭 1
型号 2179A（续）
连接器
模拟型：
9针D型接口 A
15针D型接口 B
15针边缘卡接口 C
单元设备15针D型接口 N
Millpore15针D型接口 T
数字型：
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
标配:VitonR V
选配:NeopreneR N
选配:Buna N B
选配:KalrezR K
固化软件版本（仅对DeviceNetTM）
除非特别说明，MKS将发运订货时的固化软件版本 XX
用于2179A的电缆线
CB147-12-10用来将2179 9针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用来将2179 15针D型接口连接至246, 247,
CB147-1-10用来将2179 15针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用来将2179 20针边缘卡接口连接至246, 247
CB147-7-10用来将2179 20针边缘卡接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647
