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使用DELTA流量比例控制器（FRC）能更容易獲得Z佳的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，F(xiàn)RC使用戶能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個(gè)不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率，F(xiàn)RC會(huì)自動(dòng)將氣體分送到兩個(gè)不同的出口。

DELTA™

流量比例控制器

使用DELTA™流量比例控制器（FRC）能更容易獲得*的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，FRC使用戶能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個(gè)不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率，FRC會(huì)自動(dòng)將氣體分送到兩個(gè)不同的出口。

在任何新的和已有的工藝設(shè)備中使用FRC都很簡(jiǎn)單。擁有大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇，FRC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權(quán)的計(jì)算器，我們應(yīng)用工程師們將為您的應(yīng)用選擇正確的部件。MKS會(huì)傳送給您有關(guān)機(jī)械和電學(xué)細(xì)節(jié)的電子文檔，幫助您開始進(jìn)行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個(gè)低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。

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