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INFICON PEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應用在陰極濺射鍍膜工藝上。在總線的選擇方面，除了對數(shù)的模擬輸出信號輸出外還有便于集成到真空系統(tǒng)的Profibus DP或DeviceNet協(xié)議輸出。

優(yōu)點

■測量范圍廣：5 X 10 ^-7～1 Pa

■全金屬冷陰極陶瓷傳感器

■新型幾何電極提供了*的點火性能

■降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣

■陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易

■zui小磁場強度測量

■ LED指示燈電源和等離子點火

■對數(shù)模擬輸出信號

■ Fieldbus總線接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡通信

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