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INFICON PCG400和PCG410型复合皮拉尼与电容膜片技术用于从5X10-4至1500毫巴（3.8X10-4至1125乇）精确度和可重复的压强测量。与对流增强型皮拉尼不同，PCG可任意方向安装，便于灵活地添加探头。

注：现在PCG400/PCG410系列已经停产，升级为相应的PCG550系列产品！详情请咨询：胡

特点

■任意方向安装

■放空快速响应，缩短周期时间

■快速与可靠的读值，无需大气压调节

■单一对数/线性模拟输出讯号

■易于工艺集成

■小型结构，节省有价值的工艺空间

应用

■自锁

■前级压强监测

■真空系统中的安全电路

■在中真空和粗真空范围内一般测量与控制

■控制高真空电离真空计

CDG采用直接测量单位面积力的原理，避免了过程时间的延迟。这个精度与响应时间的改进消除了在抽空和放空过程中的过冲现象。PCG装备有INFICON的皮拉尼技术，在传感器的整个测量范围内产生优异的响应时间特性，提高产量和生产率。

技术规范

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