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产品简介
NS3600 高速3D激光共聚焦显微镜是韩国Nanoscope System 公司专门为低维材料科学研究所研发的一款激光共聚焦显微镜。NS3600 采用的是638nm 的激光作为光源，测量时无需与样品表面接触即可获得样品表面的三维测量数据，是进行低维材料表面检测有效的工具。
详细介绍
NS3600三维激光共聚焦显微镜
NS-3600是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描?？楹托藕糯硭惴ㄊ迪质凳惫步瓜晕⑼枷?。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有*的解决方案。
Features & Benefits（性能及优势）：
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Software (软件）：
Application field（应用领域）：
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specifications（规格）：
?Model | Microscope NS-3600 | 备注 | ||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
WD: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
| 数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | |||||
高度测量 | 测量扫描范围 | 10mm | ||||
显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复率 σ | 0.02 μm | 注1 | ||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm | ||||
重复率 3σ | 0.03 μm | 注 2 | ||||
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
单色图像 | 12 bit | |||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度测量 | 16 bit | |||||
帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
线扫描 | ~8 kHz | |||||
激光接收元件 | PMT (光电倍增管) | |||||
激光 | 波长 | 638nm (2mW) | ||||
光学观察照相机 | 成像元件 | 彩色图像 CCD 传感器 | ||||
记录分辨率 | 1296x966 | |||||
数据处理单元 | PC | |||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
电流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 显微镜 | 大约. ~50 kg (测量头大约: ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系统 | 气浮隔振 | Option | ||||
注1:100次测量标准样品(1μm高度) 100 x/ 0.9物镜。
注2:100次测量标准样品(5μm 间距) 100 ×/ 0.9物镜。