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日本ULVAC CFB-600复合分子泵技术参数
点击次数：1315 发布时间：2015-12-29
日本ULVAC CFB-600复合分子泵 一、产品简介
复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵，是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围，广泛应用于光伏、照明、航天航空、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车、科研等真空技术的各个领域。
日本ULVAC CFB-600复合分子泵 二、产品特点
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应；由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-600复合分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-600 | ||
订货号 | 3151 | 3152 | |
进气口法兰 | — | LF160 | CF150 |
排气口法兰 | — | KF40 | |
抽气速率 | L/s | 600 | |
压缩比N2/H2 | — | 1×109/8×103 | |
极限压强 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
电机转速 | rpm | 24000 | |
启动时间 | min | ＜4.5 | |
振动值 | μm | ≤0.1 | |
前极泵 | L/s | 4-8 | |
冷却水温度 | ℃ | ≤20 | |
泵体烘烤温度 | ℃ | <120 | |
冷却水流量 | L/min | 1 | |
加热器功率 | W | <550 | |
加热器输入电压 | V | AC220 | |
安装方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～29 | |
四、特性曲线及安装尺寸
CFB系列复合分子泵安装尺寸表
型号规格 | CFB-600 | |
进气口法兰 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □45.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 395.5 | 395.5 |
H2 | 108 | 108 |
H3 | 135.5 | 135.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺钉孔 | 4-M8 | 4-M8 |