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技术文章
日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵技术参数
点击次数：1615 发布时间：2015-12-29
日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 一、产品简介
CFB-Z系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿，轴承采用脂润滑陶磁精密轴承，以更高的可靠性实现了泵的任意角度安装和清洁无油的高真空环境，广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 二、产品特点
- 由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。
- 轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承，可以实现泵的任意角度安装。
日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-650Z | ||
进气口法兰 | — | LF160 | CF150 |
排气口法兰 | — | KF40 | |
抽气速率 | L/s | 650 | |
压缩比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
极限压强 | Pa | 3×10-6 | 2×10-7 |
电机转速 | rpm | 24000 | |
振动值 | μm | ≤0.1 | |
启动时间 | min | ＜5 | |
使用轴承 | — | 脂润滑陶瓷轴承 | |
前极泵 | L/s | 4-8 | |
冷却方式 | — | 水冷 | |
冷却水温度 | ℃ | ≤25 | |
环境温度 | ℃ | <40 | |
冷却水流量 | L/min | 1 | |
安装方向 | — | 任意角度 | |
重量 | kg | ～26 | |
四、特性曲线及安装尺寸
CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
CFB-650Z安装尺寸
型号规格 | CFB-650Z | |
高真空法兰 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | 212 | 212 |
L1 | 112 | 112 |
H1 | 308 | 308 |
H2 | 248.5 | 248.5 |
H3 | 92 | 92 |
H4 | 224.5 | 224.5 |