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中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)

點(diǎn)擊次數(shù)：1676 發(fā)布時(shí)間：2012-7-4

中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水規(guī)格 GB/T11446.1-1997

	電阻率 25℃ MΩ*cm	Si ≤μg/L	Cu ≤μg/L	Zn ≤μg/L	Ni ≤μg/L	Na ≤μg/L	K ≤μg/L	Cl ≤μg/L	>1μm 顆粒 ≤N/ml	細(xì)菌 ≤N/ml	Agno3 ≤g/L	-PO4 ≤μg/L	SO4、≤μg/L	TOC ≤μg/L
EW-I	≥18*	2	0.2	0.2	0.1	0.5	0.5	1	0.1	0.01	1	1	1	20
EW - II	≥15 **	10	1	1	1	2	2	1	5	0.1	1	1	1	100

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