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微流控缺陷檢測(cè)產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1、nSpec Macro是一種快速自動(dòng)晶圓宏觀(guān)檢測(cè)儀，無(wú)論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來(lái)讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀(guān)檢查。以毫米為單位，nSpec Macro可以自動(dòng)檢測(cè)并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場(chǎng)或晶圓尺寸。

2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面，或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。明場(chǎng)，暗場(chǎng)，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED，配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度，顏色和位置。

3、該系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)導(dǎo)出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據(jù)客戶(hù)要求進(jìn)行定制。

自動(dòng)化晶圓處理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿(mǎn)足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的晶圓裝載機(jī)。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器，可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶(hù)的需求設(shè)計(jì)的。

光學(xué)特性

暗場(chǎng)照明模式照明角度：0度

傾斜照明模式照明角度：0至80度

明場(chǎng)照明模式照明角度：90度

正交照明模式照明角度：90度（通過(guò)鏡頭）

晶圓裝載機(jī)

一次運(yùn)行1個(gè)卡夾：標(biāo)準(zhǔn)H型卡夾

標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸：50、75、100、150或200mm

控制軟件

配方易于配置，并可以根據(jù)需要保存。可以按順序進(jìn)行多次掃描，并且在照射角度，強(qiáng)度和波長(zhǎng)方面具有*的靈活性。

系統(tǒng)參數(shù)

重量：62kg

尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米

蕞小真空要求：20 in.Hg

電源：110v / 220v，3.5安培

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