平面度誤差的測量

平面度誤差是指被測實(shí)際表面對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。
平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對(duì)角線法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計(jì)進(jìn)行測量，測微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測得的zui大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測量，選擇實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
關(guān)鍵詞：平面干涉儀、納米水平儀、自準(zhǔn)直儀，粗糙度測試儀