詢價8英寸晶圓倒片機
詢價時間:2025/7/22 16:38:17
報價截止:2025/7/31 23:59:59
期望收貨:無
8天
詢價產(chǎn)品(產(chǎn)品性質(zhì):加工/訂制品)
產(chǎn)品名稱 | 采購量 | 品牌 | 型號 | 產(chǎn)品描述 | 產(chǎn)品文件 | 圖片 |
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8英寸晶圓倒片機 | 1臺 | 該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用,實現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)的自動化要求,旨在實現(xiàn)8寸晶圓(包括Taiko晶圓)在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。 |
對供應商要求
- 收貨地:
- 江蘇 >無錫市 >錫山區(qū)
- 發(fā)票要求:
- 增值稅專用發(fā)票(備注:專票資質(zhì)可以報普票要求)
- 報價要求:
- 需要報含稅價
- 采購類型:
- 單次采購
補充說明
該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用,實現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)的自動化要求,旨在實現(xiàn)8寸晶圓(包括Taiko晶圓)在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。作為退火爐配套使用設備,乙方需提供滿足甲方退火爐要求的晶圓舟三維模型、圖紙及加工要求,并能根據(jù)甲方提供的Cassette型號進行作業(yè)。
晶圓傳輸:實現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間的8寸晶圓批量化傳輸,一次取放25片晶圓。
系統(tǒng)配置及要求:
(1) 根據(jù)自動化要求和設備的工藝要求,該系統(tǒng)應具備以下詳細配置功能:
(2) 晶圓規(guī)格:standard及taiko晶圓;
(3) 標準晶圓厚度200 μm至800 μm(極端情況至1000 μm),taiko晶圓中心減薄至50 μm;
(4) 傳片效率:裝滿晶圓舟所有槽位(不含cassette上料)耗時<3 分鐘(不包括人為操作時間)
(5) 可通過便捷操作切換傳輸方向,實現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間互相搬運。
(6) 平均故障間隔時間:≥2,000小時;
(7) 平均故障修復時間<2 小時;
傳輸流程:
1) Cassette被上料到Cassette定位模塊;
2) 利用托舉裝置,取出Cassette中的晶圓;
3) 抓取模塊取出托舉裝置的晶圓,并移動至晶圓舟上方;
4) 晶圓舟下方的托舉裝置啟動,從抓取模塊中取下晶圓舟;
5) 晶圓舟下方的托舉裝置下降,將晶圓放置于晶圓舟內(nèi)。
(8) 晶圓倒片機傳輸破片率<1/10,000