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詢價8英寸晶圓倒片機

詢價時間:2025/7/22 16:38:17

報價截止:2025/7/31 23:59:59

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詢價產(chǎn)品(產(chǎn)品性質(zhì):加工/訂制品)

產(chǎn)品名稱 采購量 品牌 型號 產(chǎn)品描述 產(chǎn)品文件 圖片
8英寸晶圓倒片機 1臺 該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用,實現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)的自動化要求,旨在實現(xiàn)8寸晶圓(包括Taiko晶圓)在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。

對供應商要求

收貨地:
江蘇 >無錫市 >錫山區(qū)
發(fā)票要求:
增值稅專用發(fā)票(備注:專票資質(zhì)可以報普票要求)
報價要求:
需要報含稅價
采購類型:
單次采購

補充說明

該晶圓倒片機為臥式退火設備配套使用,實現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)的自動化要求,旨在實現(xiàn)8寸晶圓(包括Taiko晶圓)在晶圓舟和Cassette之間的搬運的過程。作為退火爐配套使用設備,乙方需提供滿足甲方退火爐要求的晶圓舟三維模型、圖紙及加工要求,并能根據(jù)甲方提供的Cassette型號進行作業(yè)。
晶圓傳輸:實現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間的8寸晶圓批量化傳輸,一次取放25片晶圓。

系統(tǒng)配置及要求:

(1) 根據(jù)自動化要求和設備的工藝要求,該系統(tǒng)應具備以下詳細配置功能:

(2) 晶圓規(guī)格:standard及taiko晶圓;

(3) 標準晶圓厚度200 μm至800 μm(極端情況至1000 μm),taiko晶圓中心減薄至50 μm;

(4) 傳片效率:裝滿晶圓舟所有槽位(不含cassette上料)耗時<3 分鐘(不包括人為操作時間)

(5) 可通過便捷操作切換傳輸方向,實現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間互相搬運。

(6) 平均故障間隔時間:≥2,000小時;

(7) 平均故障修復時間<2 小時;

傳輸流程:

1) Cassette被上料到Cassette定位模塊;

2) 利用托舉裝置,取出Cassette中的晶圓;

3) 抓取模塊取出托舉裝置的晶圓,并移動至晶圓舟上方;

4) 晶圓舟下方的托舉裝置啟動,從抓取模塊中取下晶圓舟;

5) 晶圓舟下方的托舉裝置下降,將晶圓放置于晶圓舟內(nèi)。

(8) 晶圓倒片機傳輸破片率<1/10,000


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