AS-one 法国ANNEALSYS真空快速退火炉
- 公司名称 上海麦科威半导体技术有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 AS-one
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/7/26 23:12:46
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产地:法国AnnealSys;
型号:AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产,分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。
应用:
- 快速热退火 RTA;
- 快速热氧化 RTO;
- 扩散,接触退火;
- 化合物半导体退火;
- 氮化,硅化;
- 硒化,硫化;
- 石墨烯沉积,碳纳米管生长;
- 晶体化,致密化;
技术规格:
规格
AS-ONE 100
AS-ONE 150
最大样品基底直径
100mm (4英寸)
150mm (6英寸)
腔体尺寸
130mm直径 x 25mm
200mm直径 x 25mm
红外灯数量/最大功率
12支 / 30KW
18支 / 34KW
红外灯冷却方式
风扇
风扇
标准温度范围
室温 ~ 1250°C
室温 ~ 1200°C
选配高温版本范围
室温 ~ 1500°C
室温 ~ 1300°C
升温速度
0.1°C ~ 200°C/s
0.1°C ~ 150°C/s
温度控制
快速数字PID控制器
快速数字PID控制器
热电偶
K型
K型
高温计
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
气体注入
石英视窗以下
石英视窗以下
清洗气路
标准配置
标准配置
工艺气路方式/数量
MFC / 5路
MFC / 5路
真空获得系统
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
尺寸/重量
510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg
510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg
参考客户:
清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。
大尺寸样品快速退火炉
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
仪器特点:
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空环境使用;
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;