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AS-one 法国ANNEALSYS真空快速退火炉

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压?。?等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

产地:法国AnnealSys;

型号:AS-One100/AS-One150

 

AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产,分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。

 

应用:

 - 快速热退火  RTA;

 - 快速热氧化 RTO;

 - 扩散,接触退火;

 - 化合物半导体退火;

 - 氮化,硅化;

 - 硒化,硫化;

 - 石墨烯沉积,碳纳米管生长;

 - 晶体化,致密化;

 

技术规格:

规格

AS-ONE 100

AS-ONE 150

最大样品基底直径

100mm (4英寸)

150mm (6英寸)

腔体尺寸

130mm直径 x 25mm

200mm直径 x 25mm

红外灯数量/最大功率

12支 / 30KW

18支 / 34KW

红外灯冷却方式

风扇

风扇

标准温度范围

室温 ~ 1250°C

室温 ~ 1200°C

选配高温版本范围

室温 ~ 1500°C

室温 ~ 1300°C

升温速度

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

温度控制

快速数字PID控制器

快速数字PID控制器

热电偶

K型

K型

高温计

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

气体注入

石英视窗以下

石英视窗以下

清洗气路

标准配置

标准配置

工艺气路方式/数量

MFC / 5路

MFC / 5路

真空获得系统

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

参考客户:

清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。

大尺寸样品快速退火炉

 

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

 

仪器特点:

  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA;

  -  可在真空、甚至于高真空环境使用;

  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;

 



相关分类

氧化扩散设备


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