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RSO-210 真空烧结炉回流焊系统

具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!


 

FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料学博士共同创办的德国公司?；?/span> “Science is international”的想法，“全球协同实验室”成为三位博士追逐的梦想。

公司愿景是从科学家到科学家，科学开创美好未来。

FIRSTNANO深耕于半导体技术、材料科学、生命科学等科研领域，始终秉承“前沿、专业、科学”的宗旨，将前沿技术引进到协同实验室。我们的产品覆盖了微纳加工制程；材料科学的检测、分析；生命科学成像，脑科学与行为认知等相关领域。作为全球科技前沿的仪器供应商，FIRSTNANO具有全球技术视野、优质供应体系、以及严格的质量管控系统，能为客户提供前沿的技术解决方案。

公司服务的客户领域广泛，其中包括消费电子、航空、航天、医药技术、半导体行业、光电子行业、高校和研究机构。

在成长的过程中，我们脚踏实地、奋勇向前。自2015年香港（中华区）公司成立以来，我们一相继在香港、深圳、上海和武汉设立了分支机构。

我们真诚邀请业内英才加入FIRSTNANO TEAM，一起为梦想扬帆起航！

 

 

 

 

 

半导体仪器和电子产品耗材耗材

产地类别 进口 价格区间 10万-30万
仪器种类 箱式炉 应用领域 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,综合

RSO-210 真空烧结炉回流焊系统


RSO-210 真空烧结炉回流焊系统

应用

RSO-210 回流焊系统是一款出色的设备，适用于多种焊接应用，可处理尺寸达 210×210 毫米的基板或 8 英寸晶圆。


许多回流焊应用要求回流焊炉内的工艺区域为惰性环境（无氧）。用于吹扫腔室中氧气的气体通常为氮气。氮气惰性回流工艺有以下两个优势：


氮气可置换氧气，因其惰性（非反应性）特性，能提供更大的曲线灵活性并拓宽工艺窗口。


应用示例：
适用于各类研发人员实施和研究新工艺的实验室炉、原型研究、环境研究，以及小批量试产或量产。

工艺气体

RSO-210 可使用标准工艺气体，如氮气、氧气和形成气。腔室密封且易于清洁。

流量计

默认配置一路带质量流量控制器（MFC）的氮气流路（5 标准升 / 分钟），还可增配三路气路（选配件：质量流量控制器）。

真空

该系统的真空度可达 10?3 百帕。如需更高真空度，我们提供 RSO-210-HV 型号（详见单独的数据表）。

加热

可达到的最高温度为 650°C。其关键特点是精准控制的快速升温速率（10 开尔文 / 秒）和出色的降温速率（取决于温度和负载）。

温度分布

RSO-210 能实现温度分布与均匀性。标配石墨基座（升温速率限制为 10 开尔文 / 秒）。

编程

RSO-210 配备 7 英寸触摸屏，可直接在设备上轻松便捷地进行编程。可存储 50 个程序，每个程序含 50 个步骤?？纱油獠看娲⒔橹饰尴拗频厣洗拖略爻绦颉?/div>

工艺控制

该软件可对以下参数进行持续监测、读取和分析：


  • 温度

  • 工艺气体流量

  • 冷却水位状态

  • 压力值及状态


冷却

石英腔室内工件的冷却是通过氮气实现的，氮气会通入腔室。对于腔室外壳的冷却，我们推荐使用闭环水冷却系统（配件：WC - II 或 WC - III）。

其他

标配互锁功能和紧急停止按钮（EMO）。

特殊配置

该烘箱也可订购为 “双腔烘箱”。通过增加第二个工艺腔室（选配件：RSO - PC - 210），烘箱将配备 2 个工艺腔室和 1 个控制单元。当需要进行 2 种不同工艺，且因污染或其他原因无需清洁腔室时，这种配置能节省成本。


RSO-210 真空烧结炉回流焊系统


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RSO-210 真空烧结炉回流焊系统


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