VSS - 300 真空工艺烘箱
VSS - 300 回流焊系统是一款出色的设备，适用于多种焊接工艺，可处理直径达 300 毫米的晶圆，或 300 毫米 ×300 毫米、高度 75 毫米的基板（选配件：EH 型，高度 120 毫米 ）。
应用示例如下：
可作为实验室炉，供各类研发人员实施和研究新工艺、进行原型研究、环境研究，以及用于小批量试产或量产 。
工艺气体
VSS - 300 可使用标准工艺气体，如氮气、氧气、形成气（还原气 ）。腔室密封，易于清洁 。
气流控制
默认配置一路带质量流量控制器（MFC ）的氮气流路（5 标准升 / 分钟 ），还可增配三路气路（选配件：MFC ） 。
真空度
系统可实现真空度达 10?3 百帕（可选配至 10?? 百帕 ） 。
加热
可达到的最高温度为 450°C（选配件：650°C ）。关键特点是精准控制的快速升温（150 开尔文 / 分钟 ）以及出色的降温速率（取决于温度和负载 ） 。
温度分布
VSS - 300 能实现的温度分布与均匀性。可选配在石英底板上插入石墨基座 。
编程控制
VSS - 300 由 SPS SIMATIC® 控制器控制。7 英寸触摸屏让工艺编程与控制十分便捷。最多可存储 50 个程序，每个程序含 50 个步骤（可从外部数据存储设备无限制地上传、下载程序 ） 。
工艺控制
软件可对以下参数进行持续监测、读取和分析：

工艺气体
除氮气、氧气、成形气等标准工艺气体外，该系统（取决于型号）还可使用纯氢气（可选配 H2 和 HS2）。腔室采用密封设计，易于清洁。选配 RSS-FA 可使用甲酸，以实现无空洞焊接效果。

流量控制
标配 1 条带质量流量控制器（MFC）的气体管路。甲酸模块（RSS-FA）或 100% 氢气（RSS-H2）等选配件，由独立质量流量控制器控制或共用气体管路。

真空
系统可实现 10?3 百帕的真空度。可选配件包括膜片泵、耐化学泵（使用 RSS-FA 时推荐）和旋片泵。

温度分布
最高温度为 400°C（可选配至 500°C）。核心特点是精确控制的快速升温（取决于型号，最高 240 K / 分钟）和降温速率（最高 120 K / 分钟）。热板具有优异的温度分布性和均匀性。

编程

系统配备 7 英寸触摸屏，可直接在设备上便捷编程?？纱娲?50 个程序，每个程序含 50 个步骤?？纱油獠看娲⒔橹饰奚洗拖略爻绦颉?/p>

• 温度

• 工艺气体流量

• 冷却水位状态

• 压力值及状态