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EBABA荏原 EV-M805SF 高节能干式真空泵

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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司,公司专注于研发、生产与实验室相关仪器设备研发和销售。其实验室产品产品具备的技术和可靠的性能,广泛应用于医疗、科研、制药等领域,能够满足不同实验需求的高速、精确分离。工作台则设计合理,坚固耐用,为实验操作提供了稳定、安全的工作环境。 同时,玉崎科学仪器(深圳)有限公司从事其他各类实验仪器和耗材的国内外代理贸易。凭借其丰富的行业经验和广泛的业务网络,与众多国内外品牌建立了长期稳定的合作关系 在代理的实验仪器方面,涵盖了电子计测仪器、环境试验设备、科学仪器、电源、化学用品 等多个品类,为客户提供了丰富的选择。

 

 

 

 

 

真空泵;离心机,监测仪,真空系统,除尘装置,数字粉尘仪,粒子计数器,离心搅拌机,恒温箱

泵轴位置 边立式 极限压力 0.45pa
输送介质 油泵 叶轮数目 多级
应用领域 环保,化工,石油,地矿,制药/生物制药 最大工作压强 1

EBABA荏原 EV-M805SF 高节能干式真空泵

EBABA荏原 EV-M805SF 高节能干式真空泵





  • 荏原 (EBARA) 高温技术支持高负荷工艺,在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能,可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料,还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容,可以处理各种高负荷工艺。

荏原(Ebara)的干式真空泵在多个行业都有广泛应用,以下是一些主要的行业领域及应用场景:

1. 半导体与电子行业

  • 晶圆制造:用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀、离子注入等工艺,需高真空环境且避免油污污染晶圆。

  • 封装测试:在芯片封装过程中提供真空环境,确保封装密封性。

2. 平板显示行业

  • OLED/LCD 制造:用于沉积有机材料、溅射金属电极等工艺,要求无油真空环境以保证显示面板的纯净度。

3. 光伏行业

  • 太阳能电池生产:在 PECVD(等离子增强化学气相沉积)、扩散炉等设备中提供真空,助力高效电池制造。

4. 化工与制药行业

  • 蒸馏与干燥:用于溶剂回收、真空干燥等工艺,避免腐蚀性气体对泵体的损害。

  • 原料药生产:在真空环境下进行结晶、分离等操作,满足医药行业的高洁净要求。

5. 食品与饮料行业

  • 真空包装:通过抽真空延长食品保质期,干式泵可避免油污污染食品。

  • 浓缩与冻干:在真空浓缩果汁、冷冻干燥药品等工艺中发挥作用。

6. 科研与分析仪器

  • 质谱仪:提供高真空环境,确保离子在无干扰的情况下到达检测器。

  • 电子显微镜:维持样品室的高真空,保障成像质量。

7. 汽车与机械制造

  • 真空热处理:在汽车零部件的淬火、退火等工艺中,防止氧化并提高材料性能。

  • 真空成型:用于塑料部件的真空吸塑成型。

8. 电力与能源行业

  • 变压器真空浸渍:去除变压器油中的水分和气体,提高绝缘性能。

  • 核工业:在核反应堆的冷却系统、气体回收等环节提供真空支持。

9. 环境工程

  • 真空过滤:处理工业废水、污泥脱水等,高效分离固液成分。

  • VOCs 回收:从工业废气中回收挥发性有机化合物,实现环保与资源再利用。

10. 其他领域

  • 航空航天:模拟高空环境测试、卫星组件检漏等。

  • 镀膜行业:光学镜片、太阳能玻璃等的真空镀膜工艺。


荏原干式真空泵的优势在于无油污染、耐腐蚀、低维护成本,能适应复杂气体环境(如含粉尘、腐蚀性成分),满足各行业对真空度、稳定性和洁净度的严格要求。具体选型时需根据工艺需求(如真空度范围、抽气速率、气体特性)进行配置。











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