| 应用领域 | 化工,能源,汽车及零部件,电气,综合 |
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瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀
一、590系列产品定位
产品类型：电动驱动高真空调节阀（Proportional Control Valve）
核心功能：
精密压力调节（10?3 ~ 10?? mbar范围）
动态流量控制（适用于CVD、PVD、刻蚀等工艺）
核心优势：
分辨率达0.1%满量程，响应时间<50ms
全金属密封（漏率<1×10?11 mbar·L/s）
支持模拟量（0-10V/4-20mA） 和 数字通信（RS485/Profibus） 控制
二、型号命名规则（以VAT 590.12-AA为例）
| 代码段 | 含义 |
|---|---|
| 590 | 系列名称（电动调节阀） |
| .12 | 通径尺寸（12=DN25，18=DN40） |
| -AA | 密封材质（AA=氟橡胶，MM=金属） |
三、中国市场常用子型号对比
| 型号 | 通径 | 控制信号 | 密封材质 | 漏率 | 典型应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAT 590.12-AA | DN25 | 0-10V/4-20mA | 氟橡胶 | <1×10?? mbar·L/s | 实验室真空系统 |
| VAT 590.18-MM | DN40 | RS485/Profibus | 金属密封 | <1×10?11 mbar·L/s | 半导体ALD设备 |
| VAT 590.24-MM | DN63 | 0-10V | 金属密封 | <1×10?11 mbar·L/s | 光伏镀膜腔室进气控制 |
四、核心技术参数
调节性能：
线性度：±0.5%满量程
重复精度：±0.2%
流量系数（Cv）：0.02（DN25）~0.15（DN63）
电气特性：
电源电压：24V DC ±10%
功耗：<15W（待机<5W）
位置反?。嚎裳?-10V或SSI绝对值编码器
环境适应性：
氟橡胶密封：-20°C ~ +150°C
金属密封：-200°C ~ +250°C（烘烤工况）
温度范围：
耐腐蚀性：兼容Cl?、NF?等工艺气体（需选配镀镍阀体）
五、选型关键步骤
确定通径：
根据流量需求选择DN25/DN40/DN63
计算公式：
（Q: 流量，ΔP: 压差，ρ: 气体密度）选择控制模式：
模拟量控制：适用于PLC直接控制
数字通信：适合集成到智能真空管理系统
密封材质：
氟橡胶（AA）：低成本，适合一般真空（≤10?? mbar）
金属密封（MM）：超高真空（≤10?11 mbar），耐等离子体
特殊选项：
加热版本：防止气体冷凝（如SiH?工艺）
ATEX防爆认证：用于危险环境
六、安装与调试要点
机械安装：
阀体方向需与气流一致（箭头标识）
避免振动源（建议加装减震支架）
电气连接：
屏蔽电缆布线（防止电磁干扰）
接地电阻<1Ω
参数校准：
通过HMI或软件设置零位（0%开度）
标定满量程（100%开度对应10V/20mA）
测试阶跃响应（目标：超调量<5%）
七、典型故障处理
| 故障现象 | 可能原因 | 解决方案 |
|---|---|---|
| 阀门开度抖动 | 信号干扰/电源不稳定 | 检查屏蔽接地，稳压电源 |
| 压力控制超调 | PID参数不合理 | 重新整定（P↓, I↑, D↓） |
| 通信中断 | 协议配置错误 | 核对波特率/设备地址 |
瑞士VAT 590系列电动高真空调节阀
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