CYR-E-NMP 在线NMP浓度检测仪 助力半导体清洗提升良率
参考价 | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
订货量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名称 湖南楚一机电有限公司
- 品牌 楚一测控
- 型号 CYR-E-NMP
- 产地 湖南长沙
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/8 15:39:40
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主营产品:在线浓度计,浓度在线光电折光仪,在线浓度测定仪,溶液在线浓度仪,在线浓度折光仪,浓度在线检测仪,在线浓度检测仪,在线折光仪,在线浓度测量仪,浓度在线监测仪,浓度在线监控自动配液设备,在线浓度测试仪。
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 环保,化工,能源,制药/生物制药,综合 |
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测量范围 | 0 - 100% | 测量精度 | ±0.1% |
测量温度 | 0至130℃ | 温度补偿 | 0-130℃ |
触液面材质 | 超纯PTFE或PFA | 输入电源 | DC 24V |
信号输出 | DC 4-20mA & RS485 | 防护等级 | IP65 |
工艺压力 | ≤1 MPa | 清洗选项 | 可选自动清洗组件 |
产品介绍
在半导体清洗工艺中,控制 NMP 浓度至关重要,而基于折光原理的在线NMP浓度检测仪正是该领域的主流选择之一,能有效助力半导体清洗提升良率。
半导体清洗需要控制 NMP浓度。NMP是高效的光刻胶剥离剂和清洗溶剂,浓度直接影响其溶解能力。浓度过低会导致清洗困难,出现光刻胶残留;浓度过高则可能造成过度刻蚀或损伤敏感结构。此外,浓度波动会使晶圆批次间的清洗效果出现差异,成为良率波动的潜在因素。
在线NMP浓度检测仪检测NMP浓度具有诸多优势。它能够实时连续监测,提供每秒更新的浓度数据,及时反馈清洗槽或循环管路中 NMP 的实际状态,快速响应异常情况,避免整批晶圆报废。现代在线折光仪在 NMP 的典型工作浓度范围内精度高,测量基于物理光学原理,不受溶液颜色、气泡、悬浮物等干扰,稳定性优于电导率或 pH 法。仪表设计良好,无耗材,减少长期运营成本和维护频次。
在半导体清洗中,NMP 浓度在线分析仪有多个典型应用点,如光刻胶剥离槽主槽或循环管路中 NMP 工作液浓度的实时监控与自动补液,清洗 / 漂洗槽监控 NMP 残留或回收液浓度,NMP 回收系统监测蒸馏提纯后 NMP 的纯度,以及废液处理前监控确保废液浓度符合处理装置要求。
产品参数
产品型号 | CYR-E-NMP |
测量项目 | 折射率、温度、浓度 |
测量范围 | 0-100% |
分 辨 率 | 0.01% |
重复精度 | ± 0.02% |
测量温度 | 0至130℃ |
温度补偿 | 0-130℃ |
关键材质 | 触液面材质:超纯PTFE或PFA;外壳:衬氟 |
棱镜材质 | 光学级蓝宝石 |
信号输出 | DC4至20mA & RS485;2路开关量信号输出 |
输入电源 | DC 24V 或 AC 220V |
防护等级 | IP65 |
工艺压力 | ≤1MPa(10Bar)更高压力等级可定制 |
尺寸重量 | 传感器:¢119 * 188mm / 约2.0KG |
安装选项 | 1/2英寸管路安装 |
其他功能 | 多功能主机操作面板可查看浓度、温度、折射率等数据 支持故障码提示、一键校零、恢复出厂设置、曲线记录及数据导出等功能 |