流量传感器采用

流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量，通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理，处理后的信号采集进处理器芯片，再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。气体实际流量值与流量 设定值进行比较,  将差值通过智能算法去控制调节阀门，闭环控制流过 通道的流量使之与流量设定值相等，实现气体流量的精准控制。

我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），

主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控 制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值 外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高 效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高  精度，高稳定性，极低零漂等特性。

MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入;  以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。