VPC-260F 日本ULVAC爱发科小型排气设备
参考价 | ¥ 8000 |
订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本爱发科
- 型号 VPC-260F
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/30 14:11:37
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
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日本ULVAC爱发科小型排气设备
日本ULVAC爱发科小型排气设备
特征
通过玻璃钟罩易于查看,易于维护。
真空室可以在不停止主泵的情况下打开。
由于增加了蒸发电源和电极,因此可以同时进行蒸发和多层蒸发。
它是带脚轮的易于移动的真空泵系统。
规范
型 | VPC-260F系列 | |
规范 | 极限压力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa(带 LN 冷阱) |
疏散时间 | 4.0×10-3帕/20分钟 1.3×10-3Pa/20min(带LN冷阱) | |
真空室 | 真空室 | 玻璃钟罩 (直径 300mm × 300mm(高)) |
馈通套环 | 8 个端口(第 8 侧) | |
推荐基板尺寸(最大基板尺寸)※1 | □50mm ? □140mm(最大) | |
电源系统 | 蒸发电极结构 | 1 积分 |
蒸发电极 / 电源 | SEREM “PSE-150C” 1 组 0~10V 150A(Max) | |
排气系统 | 主泵 | 油扩散泵(风冷) 200L/sec |
液氮捕集阱 | 选择 | |
副泵 | 油旋转泵100L/min | |
油雾捕集器 | 选择 | |
作系统 | 主阀 | 拍板阀 |
副阀 | 三通阀 | |
自动泄漏阀 | 选择 | |
控制 | 手动控制 | |
控制系统 | 皮拉尼真空计 | 选择 |
电离真空计 | 选择 | |
设置 | 外部尺寸 Body | 530 毫米(宽)×550 毫米(深)×1135 毫米(高) |
电源 | 480 毫米(宽)×435.3 毫米(深)×149 毫米(高) | |
重量 Body | 75 公斤 | |
电源 | 40 公斤 |
※1:显示最大板尺寸的值,不考虑薄膜厚度分布。
效用
型 | VPC-250F系列 | |
所需功率 | 身体 | 100V 单相 50/60Hz 1.35kVA |
电源 | 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA | |
接地端子 | D 级(接地电阻/100Ω 以下) | |
连接 | 本体 1Φ 100V | Cabtyre 电缆(带插头) 2m |
电源 1Φ 200V | Cabtyre 电缆(带 R2.0-5 环形舌片端子) 2m |
尺寸图
VPC-260F系列
