悉識(shí)科技 非接觸桌面式自動(dòng) 薄膜膜厚測(cè)厚儀
- 公司名稱(chēng) 蘇州悉識(shí)科技有限公司
- 品牌 Acuitik
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/14 19:00:32
- 訪問(wèn)次數(shù) 81
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 20萬(wàn)-50萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天 |
悉識(shí)膜厚儀NS-30（國(guó)產(chǎn)自研，自主可控）
NS-30系列是桌面式自動(dòng)膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)。在膜厚測(cè)量的基礎(chǔ)上迭加自動(dòng)測(cè)樣載臺(tái)，能夠?qū)υO(shè)置好的點(diǎn)位進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，并進(jìn)一步生成2D和3D的資料分布圖。 NS-30系列適用于晶圓膜厚測(cè)量。
核心原理
垂直入射的高穩(wěn)定寬波段光入射到樣品表面，在各膜層之間產(chǎn)生光學(xué)干涉現(xiàn)象，反射光經(jīng)過(guò)光譜分析以及回歸算法可計(jì)算出薄膜各層的厚度。適合測(cè)量納米級(jí)至微米級(jí)的透明或半透明膜層的厚度、反射率、折射率等參數(shù)。
產(chǎn)品特色
1、測(cè)量范圍：可測(cè)量1納米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接觸測(cè)量：可測(cè)量硬質(zhì)材料、軟質(zhì)材料或表面易受損的樣品。
3、高精度，高穩(wěn)定性：亞納米級(jí)厚度測(cè)量精度，靜態(tài)穩(wěn)定性可達(dá)0.02納米。
4、多層膜測(cè)量能力：可以測(cè)量多層復(fù)合薄膜各層的厚度。
5、智能化算法：核心IP算法，一鍵式測(cè)量大跨度膜厚，極大簡(jiǎn)化測(cè)量流程。
6、特色軟件功能：自研PolarX分析軟件，包含配方預(yù)測(cè)驗(yàn)證、特殊材料捏合等功能。
核心功能
實(shí)測(cè)結(jié)果展示
特別說(shuō)明
1、樣品自動(dòng)測(cè)量，平臺(tái)尺寸100mm~450mm可選
2、軟件根據(jù)需求自動(dòng)生成測(cè)量點(diǎn)位分布
3、2D和3D測(cè)繪效果，包含厚度/折射率/反射率等信息
4、可測(cè)量薄膜應(yīng)力和表面彎曲（Stress/Bow)
悉識(shí)膜厚儀NS-30系列 參數(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | NS-30 UV | NS-30 | NS-30 NIR |
| 波長(zhǎng)范圍 | 190 nm - 1100 nm | 380 nm - 1050 nm | 950 nm - 1700 nm |
| 厚度測(cè)量范圍 | 1 nm – 40 μm | 15 nm – 80 μm | 150 nm – 250 μm |
| 準(zhǔn)確度 | 1 nm 或 0.2% | 2 nm 或 0.2% | 3 nm 或 0.4% |
| 精度 | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.1 nm |
| 穩(wěn)定性 | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.12 nm |
| 光斑大小 | 1.5 mm | ||
| 測(cè)量速度 | < 1s（單次測(cè)量） | ||
| 光源 | 鹵鎢燈 + 氘燈 | 鹵鎢燈 | 鹵鎢燈 |
| 樣品尺寸 | 直徑從1mm 到 300mm或更大 | ||
| 動(dòng)態(tài)測(cè)量速度 | ||
| 樣品 | 200mm 晶圓 | 300mm 晶圓 |
| 速度 | 5個(gè)點(diǎn) – 5秒 25個(gè)點(diǎn) – 14秒 56個(gè)點(diǎn) – 29秒 | 5個(gè)點(diǎn) – 8秒 25個(gè)點(diǎn) – 21秒 56個(gè)點(diǎn) – 43秒 |
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