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VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 深圳
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/22 21:34:42
  • 訪問次數(shù) 84

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司核心團(tuán)隊(duì)來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國內(nèi)科研機(jī)構(gòu),其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機(jī)**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上?,F(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時(shí),以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營產(chǎn)品有等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),反應(yīng)離子刻蝕機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機(jī),等離子清洗器,實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機(jī)簡介:VPS-RF40是一款中小型真空等離子清洗機(jī),廣泛應(yīng)用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用品牌高性能旋片真空泵,同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求,對真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體。進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器,產(chǎn)生等離子體,并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度,高能量的離子。等離子體能與材料發(fā)生復(fù)雜的物理,化學(xué)反應(yīng),可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能,比如清洗,活化,刻蝕與涂覆等。


   

VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機(jī)


VPS-RF40 中小型真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn):

(1)等離子清洗機(jī)清洗效率高,應(yīng)用范圍廣;

(2)對清洗樣品,沒有任何外觀尺寸、材質(zhì)等要求;

(3)在清洗過程中,溫升比較小,基本可達(dá)到常溫處理;

(4)射頻功率可無極連續(xù)可調(diào),高效的特制電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證;

(5)過載、過熱和短路保護(hù)電路,可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全;

(6)設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì),安裝與維護(hù)都極為簡單。
 

產(chǎn)品應(yīng)用:去除表面有機(jī)物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度


產(chǎn)品參數(shù):

型號

VPS-RF40

等離子頻率

13.56MHz自動(dòng)阻抗匹配

腔體材質(zhì)

進(jìn)口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

真空泵

油泵/干泵(可選)

極限真空

5Pa

功率

0-300W(連續(xù)可調(diào))

腔體尺寸

350(L)*400(D)*300(H)mm

腔體容積

40L

腔體有效處理面積

300(L)×310(D)mm

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)?,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

極板間距

35mm(根據(jù)產(chǎn)品尺寸可調(diào))

處理層數(shù)

4層

控制方式

PLC+觸摸屏

電源

AC220V/50Hz

外形尺寸

680mm(L) X 800m (w) X1500mm (H)




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