3D光學(xué)輪廓儀MTMI100
- 公司名稱(chēng) 江蘇集萃中科先進(jìn)光電技術(shù)研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2025/5/28 9:57:51
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 19
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品描述:
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué)制造、材料科學(xué)、機(jī)械制造和電子工業(yè)等領(lǐng)域,為用戶(hù)提供準(zhǔn)確的表面形貌測(cè)量解決方案。
3D光學(xué)輪廓儀MTMI100功能:
高精度微觀(guān)表面測(cè)量
提供高分辨率的表面形貌測(cè)量,精度達(dá)到亞微米級(jí),適用于精密 加工領(lǐng)域。
無(wú)接觸式測(cè)量
采用非接觸式測(cè)量技術(shù),避免了因接觸式測(cè)量可能產(chǎn)生的表面損傷或應(yīng)力,適用于脆弱材料。
快速測(cè)量與數(shù)據(jù)處理
提供高速度的數(shù)據(jù)采集和處理,能夠在短時(shí)間內(nèi)獲取大量表面信息,提高生產(chǎn)效率。
大面積掃描能力
支持大面積拼接掃描,適用于需要大范圍表面分析的工業(yè)應(yīng)用。
高度可定制化
提供靈活的軟件配置和硬件選項(xiàng),能夠根據(jù)客戶(hù)的具體需求進(jìn)行定制。
多種分析模式
提供豐富的表面分析功能,如輪廓分析、粗糙度分析等,滿(mǎn)足不同應(yīng)用需求。
3D光學(xué)輪廓儀MTMI100特點(diǎn):
1.通過(guò)工作原理圖展示白光干涉儀如何利用光干涉技術(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量,闡述其無(wú)接觸、非破壞性特點(diǎn)。
2.展示用戶(hù)友好的軟件界面,突出其易操作、自動(dòng)化處理和數(shù)據(jù)可視化的特點(diǎn)。
3.顯示儀器的實(shí)際應(yīng)用,例如在半導(dǎo)體、精密制造等領(lǐng)域中的應(yīng)用案例,突出其應(yīng)用的廣泛性。
4.展示儀器測(cè)量后生成的各種分析結(jié)果,如表面粗糙度、形貌輪廓圖等,通過(guò)圖表和數(shù)據(jù)展示其分析功能和數(shù)據(jù)的直觀(guān)性。
三視圖:
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
技術(shù)參數(shù):
掃描范圍 | 15mm | |
掃描速度 | 10μm/s | |
干涉物鏡 | 標(biāo)配:10x 選配:2.5x、5x、20x、50x、100x | |
轉(zhuǎn)塔 | 手動(dòng) | |
標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) | 1mm×1mm(10×物鏡+0.5×成像模組) | |
XY位移臺(tái) | 尺寸 | 300*300mm |
移動(dòng)范圍 | 100*100mm | |
負(fù)載 | 10kg | |
控制方式 | 電動(dòng)/手動(dòng) | |
調(diào)節(jié)角度 | ±5° | |
Z軸聚焦 | 聚焦方式 | 自動(dòng)/手動(dòng) |
行程 | 30mm | |
控制方式 | 電動(dòng) | |
粗糙度 RMS 重復(fù)性* | 0.005nm | |
臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性 | 0.1%(1σ) |
檢測(cè)案例:
16線(xiàn)光柵檢測(cè)
90nm臺(tái)階塊檢測(cè)
硅片檢測(cè)
鏡片檢測(cè)