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MU100XE 干式真空泵

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曦源科学仪器(上海)有限公司是一家专业的科学仪器供应商,主要从事高校、科研院所、生物医药等生命科学领域实验室产品的销售和技术服务。我公司致力于提供高品质的科学仪器、耗材,为客户提供整体解决方案,通过专业、细致以及全面的技术服务,实现“为客户提供更多价值”的承诺。公司成立以来一直与国内外厂商保持密切联系,不断引进各种优质的科学仪器产品。公司一直以“打造优质品牌、服务科学领域”的产品理念与社会宗旨,积极推动祖国科研事业发展。


“超微量分光光度计,菌落计数仪,移液器,紫外辐照仪,紫外交联仪,荧光蛋白激发光源,紫外灯”

产地类别 进口 产品类型 无油泵
价格区间 面议 仪器种类 真空泵
应用领域 食品/农产品,能源,制药/生物制药,综合

KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

产品简介

MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工业(KASHIYAMA)MU-XE 系列中的高性能干式真空泵,专为半导体、液晶显示器、LED 和光伏行业设计,具备无油洁净、节能环保、结构紧凑、易于维护等优势。凭借其可靠的性能和稳定的运行能力,MU100XE 已广泛应用于多种严苛的工艺环境中。

技术参数

  • 抽速:1660 L/min

  • 极限压力:1.5 Pa

  • 电源:三相 AC 200–220V,50/60Hz

  • 功耗:约 0.25 kW

  • 尺寸:450 × 230 × 275 mm

  • 重量:约 60 kg

产品特点

  • 无油干式设计:无需油封,避免油蒸汽污染,特别适合洁净室和敏感工艺环境。

  • 高抽速、低能耗:优化的Roots转子结构,提供高达1660 L/min的稳定抽速,节能高效。

  • 结构紧凑,易集成:体积小巧,适用于空间受限的自动化设备或成套系统集成。

  • 超低维护成本:部件寿命长,维护周期延长,降低运营成本。

  • 适配性强:可兼容多种工艺气体环境,适用于CVD、PVD、刻蚀、封装等多种工艺流程。

应用领域

  • 半导体制造设备(刻蚀、沉积、蚀刻等)

  • 液晶显示器(LCD)生产线

  • 太阳能光伏组件制造

  • LED 芯片制造

  • 电子封装与测试设备

  • 真空镀膜和涂层系统





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