- 装置特征 -

■通过专用软件，以料盒为单位进行自动搬运。

■在搬运一侧可对测量晶圆进行选择，也支持手动搬运。

■通过工件检测系统实现无浪费的抓取。

■通过高重复性的驱动系统，实现高可靠性的搬运。

■可实现向装置侧的各个工位进行搬运。

主要阵容

●桌面式

▲150mm桌面式自动载物台组合

▲200mm桌面式自动载物台组合

适用于75mm/100mm/150mm/200mm/300mm尺寸晶圆

●立式

适用于150mm/200mm/300mm尺寸晶圆

设备规格

●适用于贴合硅片显微镜检查自动搬运。

●与自动工作台组合可现实全自动搬运(需要与检查装置进行通信)。

●手动输送模式：750(w)x600(D)X1480(H)(6英寸自立型，包括主电源)※我们也会探讨晶圆以外的产品。

我们将为您提供测量、检查、分析一体化系统方案。

根据需求回应

●可以根据晶圆尺寸和检查内容给出最适宜的方案。

●能够应对诸如贴合硅片（厚度）、搬运结构脆弱的晶圆等各种需求。因为所有的移动轴都由电机进行控制，所以对晶圆取出速度、位置坐标、插入速度、位置坐标点、支架侧搬送、搬出等速度控制、坐标管理，可实现更安全的搬送。此外，通过上述程序，能够将不同厚度的多种晶圆进行程序注册，这样一台设备就可以搬运多种晶圆。

●采用了树脂类的聚醚醚酮（PEEK）材质的

搬运臂，在发生故障时，搬运臂的破损率

以及晶圆的破损率都有所降低。

●可与现有检查装置联动。

能够在您已经在使用的检查装置上追加搬

运系统。不论显微镜品牌，我们都会探讨

是否能够适配。

●可与自动检查装置的联动。但是会与检查装置侧产生通信费用。

*需要与检查装置制造商进行协商。                        ▲各移动轴设定值

优秀的操作性

采用 8 英寸的可编程逻辑控制器（PLC）画面，因此对于全数检查、抽样检查等各种设定操作，都能一目了然地进行。根据您的需求，检查画面的布局也可以进行更改。在与自动检查装置联动的情况下，采用了警示灯（三色灯），当完成25片料盒的检查后，会通知操作人员。

▲各移动轴设定值

丰富的选项

可对应背面微观检查、表面宏观检查模式、清洁度提升、除静电对策等各种各样的可选配置。即使在搬运装置导入后，也能够追加基本规格的可选配置。

●具备多料盒自动识别功能，能够自动识别，并通过对不同厚度产品的定位（rod）进行坐标值注册，实现高可靠性的安全搬运。

●通过全封闭设计可以保持高度清洁的环境。

●通过2盒(装载/卸载)、3盒(装载和卸载

OK·NG)化，可对产品进行分类。

▲包里面观察臂

组合示例):YIT200A-L-P-2N

与 200毫米自动工作台联动、具备背面检测功能、有警示灯、对应2个料盒、为缺口检测类型。

不论显微镜品牌，都可连动输送装置，若显微镜侧为自动台型，也可自动输送25张。

但是，由于需要与检查装置进行通信，需要与装置软件负责人进行协商。

■晶圆搬运装置基本规格

■选项

·映射（检测产品存在/不存在）

·晶圆弹出检测

·错误编码显示

·二维码

·静电防护措施（离子发生器）

·清洁度提升措施（高效空气过滤器 / 超高效空气过滤器）

·适应样品尺寸和形状

·支持多料盒