| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 化工,生物产业,能源,制药/生物制药,综合 |
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量 和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺 设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤 熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07-9质量流量控制器/流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用国际标准接头, 其 操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制控制器与显示之间用专用电缆连接。
特点
• 中流量型
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型电插头，国际标准机械接头
D07-9质量流量控制器/流量计技术参数
类型 | D07-9E 型 | D07-9EM 型 | D07-9F 型 | D07-9FM 型 |
流量规格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM |
准确度 | ±2 % F.S. | ±2 % F.S. | ±2% F.S. | ±2 % F.S. |
线性 | ±1 % F.S. | ±1 % F.S. | ±1% F.S. | ±1 % F.S. |
重复精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2% F.S. | ±0.2 % F.S. |
响应时间 | (1 ~ 4) sec | (1 ~ 4) sec | ≤ 4sec | ≤4 sec |
工作压差范围 | 20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） | - | 20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) | - |
气压降 | - | 20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; | - | 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); |
最大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐压 | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5℃ ~ 45℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
电源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24VDC 400 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 2.6 kg | 1.5 kg | 2.6 kg | 1.5 kg |
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化工仪器网