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全柜式涂膠顯影機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/5/22 11:03:57
  • 訪問次數(shù) 329

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對(duì)國(guó)家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測(cè)儀器和工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時(shí)我司與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺(tái)、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺(tái)保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對(duì)自營(yíng)品牌的需求,讓客戶從而實(shí)現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營(yíng)。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

全柜式涂膠顯影機(jī)操作模式:

設(shè)備采用操作人員取/送基片,自動(dòng)完成涂膠、自動(dòng)顯影、自動(dòng)烘烤處理的生產(chǎn)方式,操作人員通過觸摸屏進(jìn)行人機(jī)交互,完成生產(chǎn)配方和過程的控制。

全柜式涂膠顯影機(jī)涂膠單元:

轉(zhuǎn)速:5000 RPM(空載)

轉(zhuǎn)速控制精度:±1RPM

轉(zhuǎn)速調(diào)整量:1RPM

加速度范圍:1000RPM/S 可設(shè)定

電機(jī)功率:0.4KW、0.75KW、1.75KW等

涂膠方式:手動(dòng)\自動(dòng)滴膠可選

滴膠模式:手動(dòng)、針筒、壓力罐、膠泵等多種方式可選

廢液組成:光刻膠及其它液體

收集裝置:廢液收集后排放到設(shè)備內(nèi)部的廢液桶

處理尺寸:≤8英寸,其它規(guī)格尺寸可選

顯影模塊:

顯影模塊包括顯影單元,化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng),化學(xué)品排放系統(tǒng),有機(jī)氣體排放系統(tǒng)

吸盤系統(tǒng):真空吸附

轉(zhuǎn)速:3000  轉(zhuǎn)/分鐘(負(fù)載)

轉(zhuǎn)速控制精度: ± 1 轉(zhuǎn)/分鐘

最小轉(zhuǎn)速調(diào)整量:1 轉(zhuǎn)/分鐘

加速度范圍:5000RPM/S 可設(shè)定

電機(jī)功率:0.4KW、0.75KW、1.75KW等

防護(hù)罩材料:不銹鋼

噴嘴組件,顯影臂,驅(qū)動(dòng)電機(jī)

顯影方式:可實(shí)現(xiàn)定點(diǎn),掃描,puddle 顯影方式

噴頭形式:扇形\柱形

顯影噴嘴高度控制:手動(dòng)調(diào)整

噴嘴組件,清洗臂,驅(qū)動(dòng)電機(jī)

廢液收集后排放到設(shè)備內(nèi)部的廢液桶。

廢氣來源:顯影區(qū)域及防護(hù)罩內(nèi)的揮發(fā)氣體

廢氣排放:?jiǎn)卧獌?nèi)部氣體收集后直排廠務(wù)系統(tǒng)

管路:顯影液、水、氣、背洗等可選

處理尺寸:≤8英寸,其它規(guī)格尺寸可選

熱板:

溫度范圍: RT~200℃;

溫度均勻性:≤±1.5%%;

頂升功能:可選;

上位機(jī)軟件:可選;

處理尺寸:≤8英寸,其它規(guī)格尺寸可選;

更多功能和處理尺寸需求可溝通詳細(xì)了解。

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