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RTD Wafer 无线晶圆测温系统

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上海睿丹自动化仪表有限公司,公司集科技、工业、贸易于-一体,专注自控产业,并为各行业企业提供优质解决方案的专业企业,公司始终坚持走品牌路线、创质的服务品牌。同时依托于上海交通大学,中科院力学所、声学所、航天部等大型科研单位并与华东理工大学等高校形成长期科研合作关系,我们的承诺是:以合理的价格、过硬的质量、快捷的货期及快速的售前咨询、售中指导、售后服务,在为广大客户提供优质产品的同时让您充分感受到现代工业给您带来的方便与震撼。凭借公司的强大实力和经验丰富的专业技术队伍,睿丹公司享有直接的国外的产品代理权及进出口权:德国HBM、日本Yokogawa、美国Honeywell,美国GE,德国SIEMENS;英国Druck,加拿大BW,法国Oldham,美国Flowline,美国Dwyer,,芬兰VAISALA,英国Michell,德国CS,日本RIKEN,德国Drager等

我们将坚持不懈地探索创新,使技术、品质更加完善,为社会奉献更多的新产品。竭诚欢迎与各界同仁,有志之士进行广泛友好合作,实现优势互补,双赢共享!

自动化仪器仪表,进口分析仪器,流量计,传感器,液位计,室验室仪器,承接自动化系统、工程设计成套安装及调试、实验室气体管道设计、安装。


分析仪器,流量计,传感器,水质分析仪器,热值仪,气体检测仪

产地类别 国产 应用领域 环保,生物产业,石油,制药/生物制药,综合

RTD Wafer 无线晶圆测温系统

RTD Wafer 晶圆测温系统利用自主研发的核心技术将 RTD 传感器集成到晶圆表面,实时监控和记录晶圆在制程过程中的温度变化数据,为半导体 制造过程提供一种高效可靠的方式来监测和优化关键的工艺参数。我司提 供核心的 DUAL SHIELD 技术,具有强抗干扰能力,可实现在干法刻蚀环 境中正常工作,精准监测刻蚀工艺温度;结合核心的 TEMP-BLOCK 技术, 可实现高温环境中,精准监测制程温度。

【应用范围】薄膜沉积 PVD  CVD

【产品优势】

1. ±0.05℃高精度测温监测:RTD传感器能够提供高精度的温度读数,确保半导体制造过程中的关键步骤能够在优良温度下进行,从而保证产品质量至关重要。

2. 实时测温数据获?。?/strong>通过RTD Wafer,可以实时监测晶圆在热处理和刻蚀过程中的温度变化,实现即时调整工艺参数,优化生产效率。

3. 测温数据分析能力:测量后的数据通过软件分析和优化工艺参数,提高产量和产品质量。

4.支持过程调整与验证:通过分析在产品工艺条件下收集的温度数据实现调整蚀刻和其他关键工艺步骤的条件,以确保优良性能。

5.全面热分布区监测:在晶圆上支持多达81个位置同时进行温度监测,从而获得全面的热分布图。

【参数配置】


无线晶圆测温系统




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