KLA Candela® 7100系列缺陷检测和分类系统这套检测系统以激光为基础，能够对硬盘驱动器的基板和介质进行高灵敏度的表面缺陷检测，同时具有多条光学路径，用于对亚微米凹坑和微粒进行分类。自动化模型Candela 7140配有片盒对片盒传输系统。

KLA Candela® 7100系列缺陷检测和分类系统高级缺陷检测和分类系统是专为硬盘驱动器基板和介质而设计的。高功率双波长激光器针对当前的关键缺陷挑战进行了优化，多通道散射检测器为全系列基板上亚微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷的分类提供了更高的灵敏度。KLA Candela® 7100系列的功能和稳定性确保了一个平台可用于多个工艺控制应用点。

功能

• 通过整个磁盘的缺陷图对金属和玻璃、基板和介质上的亚微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷进行检测和分类

• 通过整个磁盘的缺陷图来更快地获得结果，同时附带对缺陷进行分类以及数据输出可操作的功能

• 减少对离线检测技术(AFM、SEM、TEM等)的依赖，从而降低总拥有成本

• 提供手动(7110)或全自动(7140)配置

应用案例

• 缺陷检测

• 划痕和隆起检查

• 微粒和沾污检测

• 激光纹理分析

• 碳均匀性分析和碳空洞检测

• 对记录层和软衬层进行检测

• 润滑油均匀度分析

• 磁共振成像

选项

• 精密的金刚石划线

• 高灵敏度选项

• 磁共振成像

• 离线软件