实验室供气系统管道安装要求　

　　满足不同实验的要求和安全性。双瓶采用汇流排供气设备，具有手动、半自动和全自动切换功能，并设有低压报警装置，实时监控气压、浓度检测报警和排气，确?？突дＳ闷蜕撇踩?。

　　气路系统常用设备

　　钢瓶(气体压缩机)、钢瓶固定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金属软管、半自动开关装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大、小封头、夹紧套筒阀、不锈钢管(BA)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等。

　　实验室集中供气系统技术要求

　　、气瓶存放室

　　气瓶之间应采用300毫米厚的实心墙，安装防爆门，设置防爆窗

　　室内电气设备应具有防爆功能

　　应安装排气扇，随时保持良好的通风状态

　　供气系统需要两级减压供气。供气汇流排减压。气体从15MPa减压到小于1.5MPa，然后输送到每个气体使用实验室。二级减压器安装在每个用气实验室或用气点，便于对通风柜或仪表的气体输送压力进行统一控制。用气终端装有中压球阀和压力指示器。二级减压器精确调节压力(0.01兆帕)，获得稳定的压力，可以满足仪器对不同使用压力的要求。一级减压器和二级减压器均配有压力表，可实时显示当前压力。

　　、采用双侧汇流排半自动方式连续供气，实验室使用要求。更换气瓶时，可以通过安装在高压软管下方的夹紧套更换气瓶

　　、氢气和乙炔是。应设计气体泄漏检测和报警装置，并安装阻火器，以防止明火回流。应确保放置易燃和助燃气体的足够安全距离。

　　实验室高纯气路布局

　　高纯气体管道系统的布置不同于普通气体管道。一般来说，要求管道不要太长，不要有死角，如不容易吹干净的“盲管”。主管或支管的末端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，让少量气体在管道末端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，避免出现“死区”。根据工艺气体的质量要求，必要时应设置终端净化装置。一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于统一管理和控制。

　　高纯气路管道及管道附属材料:高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。例如，半导体工业不仅需要清洁的生产环境，而且由于其复杂的生产过程和精细加工，对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求。从微米技术到亚微米和深亚微米(小于0.35um)技术，对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格，10-6 (ppm级)不能满足要求。需要达到10-9 (ppb级)甚至10-12(ppt级)，粉尘粒径需要控制在0.05-0.01 μm。因此，输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

　　管道材料的特性对于输送高纯气体的管道，影响气体质量的管道材料的主要特性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。

　　供气系统管道安装要求

　　、管道敷设应符合设计要求，设计没有要求时，干气管道应水平安装;输送湿气的管道应安装坡度不小于0.003，坡度应朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接连接，钨极氩弧焊打底，手工电弧焊覆盖。不锈钢管焊接或点焊应采取充氩保护措施

　　气体管道和设备、阀门和其他附件应通过法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须是聚四氟乙烯薄膜

　　、气体管道穿过洁净室时，法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净

　　气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化无缝钢管时，必须采用集中安装方式，安装应在48小时内分段组合，氮气?；?，填充压力不小于0.2兆帕

　实验室供气系统管道安装要求