托托科技推出的无掩模光刻机采用前沿的技术,提供了多种型号以满足不同的需求。这些光刻机基于空间光调制器原理,摆脱了传统实体掩模的限制,以其高精度、高效率和高灵活性而受到用户的青睐。我们主要应用于科学研究、小批量多种类的生产等领域,如掩模版制造、二维材料器件、微流道芯片和MEMS器件等。托托科技的光刻机产品线包括多个版本可供选择:
科研版(ACA系列):此型号基于空间光调制技术,实现了数字掩膜光刻。它具有长寿命、高功率的紫外光源,设备稳定且操作简单。其特色功能包括原位光绘和交互式套刻指引,使得光刻和套刻更加精准和容易。
教育版(Young):这是一款桌面型无掩膜光刻机,灵活小巧,非常适合用于微电子、集成电路等领域的实验课程。
高速版(Speed):这个版本具备更快的加工速度和更强的设备性能,适用于小批量生产制造。
托托科技的无掩模光刻机具有多种优势,如无需掩模版的灵活性、高加工精度(可达400 nm)、高速度(可达1200 mm2/min)以及大加工幅面(可达2 m2)。此外,我们还提供了4096阶的灰度光刻能力,能够构建出具有高度复杂且细腻层次变化的微观结构或图案。
托托科技的光刻机凭借其性能和灵活的技术,在多个高科技领域得到了广泛应用。无论是二维材料的精准加工、微流控芯片的复杂制作,还是MEMS器件的精细制造,托托科技的光刻机都能提供高效解决方案。同时,它在微透镜、光学衍射器件、浮雕结构、超表面以及量子光学等前沿领域也展现出强大的应用潜力,为科学研究和技术创新提供了有力支持。