美国ZYGO激光干涉仪VeriFire激光干涉仪产品概述：

菲索型激光干涉仪，具有环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高精度、严格共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--美国ZYGO激光干涉仪VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的大部分优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。 Zygo最新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。

系统性能特点:

◆测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

◆测量技术：机械相移干涉测量（PSI）

◆校准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

◆测量光束直径 ：4″（102mm）或6″（152mm）

◆对准视场范围FOV ：4″：±3°；6″：±2°；

◆光学中心线 ：4.25″（108mm）

◆激光光源：大功率稳频氦-氖激光，IIIa *

◆波长： 633 nm

◆频率稳定度： < 0.0001 nm

◆相干长度 ：＞100m

◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素

◆帧速 ：43Hz

◆数据采集时间 ：302ms

◆数据模式： 8位

◆放大 ：电控数显放大1-5X

◆偏振 ：接近圆偏振（1.2：1或者更好）

◆光曈调焦范围： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；

◆计算机和软件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO原装软件MetroproTM X和MetroproTM 9

◆安装构造 ：水平卧式或垂直立式

◆附件 ：详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463

◆尺寸(长x宽x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

测量参数：

◆RMS重复性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

工作环境：

◆温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

◆温度变化率： ＜1.0°C/15min

◆湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结

◆隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。