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FR-pOrtable 测厚仪 便携式光 膜厚测量

参考价 ￥ 400000
订货量 ≥1台
具体成交价以合同协议为准

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 本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售，是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品；电子光电产品设备研发组装及销售，半导体仪器设备销售；国内贸易、货物及技术进出口；医疗器械研发及销售；医用耗材及医疗用品的销售等。

本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售，是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品；电子光电产品设备研发组装及销售，半导体仪器设备销售；国内贸易、货物及技术进出口；医疗器械研发及销售；医用耗材及医疗用品的销售等

便携式 光学 膜厚测量 FR-pOrtable 测厚仪



FR-pOrtable是白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。小型光谱仪，光谱范围370nm –1020nm，分辨精度可达3648像素，16位级A/D分辨精度；配有USB通讯接口；可对透明和半透明的单个薄膜或薄膜叠层进行精确，精确的

无损表征。FR-pOrtable的紧凑设计保证了测量的高度准确性和可重复性。FR-pOrtable既可以安装在提供的平台上，也可以轻松转换为手持式厚度测量工具，以放置在表征区域上。这样，FR-pOrtable是用于现场应用的光学表征工具?？梢圆饬糠瓷渎剩干渎?，吸收率和颜色参数。

FR-Monitor膜厚测试软件系统，可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。


参考样片：

1）经校准过的反射标准硅片；

2）经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；

3）经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片；

4）反射探针台和样片夹具：

可处理的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；

手动调节可测量高度可达50mm；

可针对更大尺寸订制样片夹具；

反射率测量的光学探针：

内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；

附件：

FR-portable透射率测量套件；


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