GEN2000 分子束外延MBE

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分子束外延 MBE 薄膜沉积

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

1. 产品概述：

GEN2000® MBE 系统提供的吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。

提供业界低的单片晶圆成本

设计使占地面积比同类 MBE 系统小 40% 至 60%

?？榛芄乖市矶嗔礁錾つ？?，从而提高产量或允许处理不相容的材料

易于维护，可大限度地延长正常运行时间

可选的隔板安装优化了洁净室空间

集成了业界具创新性、可靠的系统硬件、源和组件

GEN2000® MBE 系统提供吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。