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SENTECH Etchlab 200 RIE RIE等離子蝕刻系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 SENTECH
- 型號 SENTECH Etchlab 200 RIE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/4 17:16:02
- 訪問次數(shù) 359
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1. 產(chǎn)品概述：
SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統(tǒng)代表了一系列直接加載等離子體蝕刻系統(tǒng)，結(jié)合了RIE平行板電設(shè)計的優(yōu)點和直接負載的成本效益設(shè)計。
2. 主要功能與優(yōu)勢：
成本效益
該系統(tǒng)將平行板等離子體源設(shè)計與直接負載相結(jié)合.
3. 可升性
根據(jù)其模塊化設(shè)計，SENTECH Etchlab 200 RIE系統(tǒng)可升為終點檢測、更大的泵送裝置、真空負載鎖和額外的氣體管線。
4. SENTECH控制軟件
該系統(tǒng)配備了用戶友好的強大軟件，具有圖形用戶界面、參數(shù)窗口、配方編輯器、數(shù)據(jù)記錄、用戶管理。
5. 靈活性和模塊化
SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統(tǒng)可以配置為處理與晶圓直接加載兼容的材料，包括但不限于硅和硅化合物、化合物半導體、電介質(zhì)以及聚合物和金屬。
SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統(tǒng)由先進的硬件和SIA操作軟件控制，具有客戶端-服務(wù)器架構(gòu)。一個經(jīng)過充分驗證的可靠可編程邏輯控制器（PLC）用于所有組件的實時控制。
SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統(tǒng)代表了一系列直接加載等離子體蝕刻系統(tǒng)，結(jié)合了RIE平行板電設(shè)計的優(yōu)點和直接負載的成本效益設(shè)計。
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