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AIX G5 WW C 化合物半导体沉积系统

具体成交价以合同协议为准
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半导体沉积

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

主要优点

  • 吞吐量和每片晶圆拥有成本

  • 批量配置中的单片性能，可实现出色的外延层质量

  • 兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长

产品特点

  • 带热晶圆转移的行星式反应器

  • 在生长室中高效利用气体

  • 晶圆级温度控制

  • 晶圆盒到晶圆盒处理

  • 快速外延处理

  • 8x150 mm 配置，单晶圆旋转

  • AutoSat功能，确保批次内的均匀性

  • SECS-GEM工厂接

主要优点

  • 吞吐量和每片晶圆拥有成本

  • 批量配置中的单片性能，可实现出色的外延层质量

  • 兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长

产品特点

  • 带热晶圆转移的行星式反应器

  • 在生长室中高效利用气体

  • 晶圆级温度控制

  • 晶圆盒到晶圆盒处理

  • 快速外延处理

  • 8x150 mm 配置，单晶圆旋转

  • AutoSat功能，确保批次内的均匀性

  • SECS-GEM工厂接口







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